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oe1(光电查) - 科学论文

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  • [2019年IEEE光子学与电磁学研究秋季研讨会（PIERS-Fall）- 中国厦门（2019.12.17-2019.12.20）] 2019年光子学与电磁学研究秋季研讨会（PIERS-Fall）- 基于光纤布拉格光栅的桥梁多点微弱应变与振动信号检测

    摘要： 本文提出了一种检测微机电系统（MEMS）面内位移的新方法，其精度达到了前所未有的亚埃级。我们采用光谱分析中常用的曲线拟合方法来定位光谱峰值。通过光学显微镜上的CCD相机获取硅梁的图像强度分布并进行函数拟合。位置分辨率取决于像素噪声量以及移动特征在探测器像素上的分布范围，通常受光子散粒噪声限制——该噪声可通过多种方式调控降低。为验证该技术，我们测量了两个硅表面的粘附剥离现象，并使用两种不同硅基MEMS器件及实验性超纳米晶金刚石器件评估技术精度。报道的最低位置噪声是通过叠加1577条图像线获得的，其均方根值低至60皮米[2014-0040]。

    关键词： 位移测量、光学噪声、微机电系统、光学图像处理、亚像素分辨率、光学位置测量

    更新于2025-09-23 15:19:57

  • [IEEE 2018年第11届英欧中毫米波与太赫兹技术研讨会(UCMMT) - 中国杭州 (2018.9.5-2018.9.7)] 2018年第11届英欧中毫米波与太赫兹技术研讨会(UCMMT) - 偶极子天线输入阻抗的高效计算

    摘要： 本文提出了一种检测微机电系统（MEMS）面内位移的新方法，其精度达到了前所未有的亚埃级。我们采用光谱分析中常用的曲线拟合方法来定位谱峰位置，通过光学显微镜CCD相机采集硅梁图像的强度分布曲线进行函数拟合。该方法的定位分辨率取决于像素噪声量以及移动特征在探测器像素上的分布范围，通常受光子散粒噪声限制——该噪声可通过多种方式进行调控降低。为验证该技术，我们测量了两个硅表面的粘附脱离现象，并采用两种不同硅基MEMS器件及实验性超纳米晶金刚石器件评估其精度。报道的最低位置噪声是通过叠加1577条图像线获得的，其均方根值低至60皮米[2014-0040]。

    关键词： 微机电系统、位移测量、光学图像处理、光学噪声、亚像素分辨率、光学位置测量

    更新于2025-09-19 17:13:59

  • 利用共焦波导准光回旋管产生高功率连续频率可调亚太赫兹辐射

    摘要： 本文提出了一种检测微机电系统（MEMS）面内位移的新方法，其精度达到了前所未有的亚埃级。我们采用光谱分析中常用的曲线拟合方法来定位谱峰位置，通过光学显微镜CCD相机采集硅梁的强度分布图像并进行函数拟合。该方法的位移分辨率取决于像素噪声水平及移动特征在探测器像素上的分布范围，通常受光子散粒噪声限制——这种噪声可通过多种方式调控降低。为验证该技术，我们测量了两个硅表面的粘附脱离现象，并采用两种不同硅基MEMS器件及实验性超纳米晶金刚石器件评估其精度。报道的最低位置噪声是通过叠加1577条图像线获得的，其均方根值低至60皮米[2014-0040]。

    关键词： 亚像素分辨率、微机电系统、光学位置测量、光学噪声、位移测量、光学图像处理

    更新于2025-09-19 17:13:59