受邀文章：芯片上的可扩展高灵敏度光机械磁力计

摘要： 腔光力磁力计中机械与光学响应的双共振增强实现了磁场的精密传感。在先前此类磁力计的工作样机中，通过人工环氧树脂粘接磁致伸缩材料颗粒来实现腔光力系统功能化。虽然这种方法能进行原理验证演示，但实际应用需要更具可扩展性和可重复性的制备途径。本工作开发了一种多步骤方法，在硅芯片上可扩展地制备光力磁力计，且不同器件间性能具有可重复性。关键步骤是开发出在不降低光学品质因子的情况下，将磁致伸缩薄膜溅射涂覆到高质量环形微谐振器上的工艺。实现了585皮特斯拉每平方根赫兹的峰值灵敏度，与先前使用环氧树脂粘接的报道结果相当。此外，我们证明对溅射薄膜进行热退火处理可使磁力计灵敏度提高6.3倍。