[2019年IEEE第十届机械与航空航天工程国际会议(ICMAE) - 比利时布鲁塞尔(2019年7月22-25日)] 2019年IEEE第十届机械与航空航天工程国际会议(ICMAE) - 基于飞秒激光制备双微腔串联的光纤马赫-曾德尔干涉应变传感器

摘要： 提出了一种通过级联两个飞秒激光制备的微腔构成的光纤马赫-曾德尔干涉仪(MZI)。该干涉仪用于应变传感时灵敏度达-664.2 nm/με，与长周期光纤光栅和锥形应变传感器相当。在加载卸载过程中表现出良好的可逆性。强度变化与施加应变呈二次函数关系。同时研究了该干涉仪的折射率依赖性和温度依赖性。此外，由于未减小光纤直径方向尺寸，该结构比锥形或沟槽式光纤传感器具有更强的鲁棒性。