通过化学蚀刻减小半球形谐振器的频率分裂

摘要： 半球谐振陀螺仪（HRG）因其卓越的性能、超高的可靠性以及可微型化的潜力，引起了全球惯性导航领域的关注。这类器件在消除两个简并工作模式的频率差时性能最佳?；荡?、激光烧蚀、离子束刻蚀等方法虽已被用于谐振器调频，但它们要么需要昂贵设备和复杂流程，要么会显著改变谐振器的品质因数。本文首次通过实验研究了采用化学刻蚀工艺降低半球谐振器频率分裂的方法。我们不仅对化学刻蚀过程进行了理论分析，还阐明了频率分裂与质量误差的关系。实验证明，该化学刻蚀工艺可将频率分裂降至0.05赫兹以下，且不会损伤谐振器的品质因数。与其他调频方法相比，该化学刻蚀方案实施便捷，耗时少、人力投入低，可作为获得中等精度半球谐振陀螺仪的有效微调手段。