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脉冲激光沉积法制备单层MoS2薄膜性能的衬底温度依赖性
摘要： 采用脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备了单层MoS2薄膜。研究了衬底温度对单层MoS2薄膜结构、光学及光致发光特性的影响。提高衬底温度可改善MoS2薄膜的表面形貌和晶体质量，同时增强其吸收和光致发光性能。此外，还探讨了衬底温度影响单层MoS2薄膜特性的作用机制。
关键词： 光学特性、衬底温度、晶体质量、单层二硫化钼薄膜、光致发光特性
更新于2025-09-12 10:27:22