[2018年IEEE国际集成电路物理与失效分析研讨会(IPFA) - 新加坡(2018.7.16-2018.7.19)] 2018年IEEE国际集成电路物理与失效分析研讨会(IPFA) - 基于压电力显微镜的多层陶瓷电容器特性表征

摘要： 材料中电学响应与力学响应之间的耦合是一种基本特性，为从传感器、执行器到能量收集和生物等众多应用提供了功能基础。大多数材料在纳米尺度的畴中表现出机电耦合。因此，要理解这些材料的结构与功能之间的关系，需要进行纳米尺度的表征。这种特性可以通过压电力显微镜（PFM）以非破坏性的方式直接测量，这是Park Systems公司所有原子力显微镜（AFM）的标准模式。此外，PFM还可作为一种光谱工具来评估压电畴的翻转。在此，我们展示了PFM在多层陶瓷电容器失效分析中的应用。通过形貌与电信号的关联成像，揭示了器件中可能直接影响器件性能的不连续结构?；乖谔囟ㄑ沟缜蚪辛斯馄撞饬浚云拦莱胩匦?，例如翻转极化方向所需的电?。ń猛绲缪梗?。