开发一种全自动桌面化学气相沉积系统，用于可编程和可控的碳纳米管生长

摘要： 我们合理设计并开发了一套全自动桌面炉系统，该系统能够实现可编程的碳纳米管化学气相沉积生长，精确控制其高度、密度和图案结构。该系统由加热炉、质量流量计和计算机控制器等关键组件构成，在无需昂贵笨重仪器的情况下实现了可控且实用的碳纳米管生长。通过在该系统中编程、修改和加载可复用的工艺配方，能够系统性地重复生长具有目标形貌和尺寸的碳纳米管。实际操作中展示了高度、密度和图案可控的生长结果，证实了该系统在各类实际应用中的有效性和实用性。