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oe1(光电查) - 科学论文

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  • 材料科学与工程参考???|| 六锗一硅(SixGe1-x)块体晶体

    摘要: 锗硅(Ge???Si?)或硅锗(Si?Ge???)合金(其中x表示硅的摩尔分数)是一种具有金刚石立方结构的完全固溶半导体。两种元素的晶格参数相差4%,而该固溶体的晶格参数从纯锗的0.564纳米到纯硅的0.534纳米严格遵循维加德定律,其带隙则根据组分从锗的0.72电子伏特变化到硅的1.2电子伏特。锗硅合金因其在带隙和晶格参数调控方面的潜力,对微电子、光电子器件及各类功能材料都具有重要意义。图1展示了锗硅合金的相图,其固相线与液相线曲线间距较大。平衡分配系数k?=xs/xl(xs和xl分别为硅在固相线和液相线中的浓度)在富锗溶液中高达6,在各元素平均熔点温度时约为2.2。如此大的液固相线间距以及组成元素(如密度、晶格参数和熔点)物理性质的差异,使得锗硅合金的晶体生长极具挑战性。本文概述了其应用并综述了块体锗硅的生长,讨论了相关问题、残余缺陷、杂质与掺杂剂,同时涵盖了合金的结构特性。从凝固基础理论视角看,此类合金的研究也颇具价值。

    关键词: 固溶半导体、晶体生长、微电子器件、光电子器件、锗硅合金

    更新于2025-09-04 15:30:14