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激光干涉光刻制备表面结构的快速傅里叶变换分析
摘要： 本文提出了一种基于快速傅里叶变换（FFT）的分析方法，用于研究激光干涉光刻（LIL）制备的表面结构。该研究采用结合高斯拟合的FFT分析方法，从频谱中确定表面结构的周期和图案分布。对于LIL工艺，可根据所得周期和图案分布反推出入射角与方位角等加工参数。本研究有助于微纳结构的检测、工程中图案分布的分析以及LIL加工误差的评估。
关键词： 表面结构、微纳结构、图案分布、激光干涉光刻、快速傅里叶变换分析
更新于2025-11-25 10:30:42