- 标题
- 摘要
- 关键词
- 实验方案
- 产品
-
Cytop材料的有限接触角退化光刻图案化技术
摘要： Cytop是一种市售的非晶态含氟聚合物，具有优异的电绝缘性、防水防油性、耐化学腐蚀性及防潮特性，使其成为电润湿介电（EWOD）器件中疏水层的理想材料。然而其高度疏水的表面导致光刻胶难以直接涂覆。为图案化Cytop，需在涂覆光刻胶前进行等离子体处理以增强光刻胶与Cytop涂层的附着力。该方法不可避免地会导致最终EWOD器件疏水性下降，因此亟需开发低损伤的Cytop图案化工艺。 本文首先系统表征了两类表面处理方法（等离子体处理与金属处理）造成的损伤：通过改变等离子体气源（Ar/O?）、处理时间（0-600秒）、金属靶材（Al/Cu/Cr/Au）及沉积工艺（磁控溅射/电子束蒸发）等参数，分别采用椭偏仪测量膜厚、接触角测试评估润湿性、原子力显微镜（AFM）分析表面粗糙度。随后研究了退火工艺对损伤修复的效果。 实验结果表明：(1) 退火对恢复疏水性及表面平滑化具有必要性；(2) 通过控制等离子体处理时间可获得指定膜厚；(3) "Ar/O?等离子体处理+AZ5214软掩模+退火"是可行方案；(4) "Al/Cu/Cr/Au硬掩模+退火"同样适用。
关键词： 细胞，介质上电润湿（EWOD），退火，图案化，微流控
更新于2025-09-23 15:23:52
-
低温下用于有机场效应晶体管的近晶液晶图案化
摘要： 利用液晶材料制备规整微结构用于有机场效应晶体管（OFETs）是一个极具吸引力但具有挑战性的课题。然而该方法通常受限于形成大面积沿理想方向排列的单晶的困难。本文中，通过夹层体系采用去润湿法将几种噻吩三聚体（TTP）近晶相液晶（如8-TTP-8和12-TTP-11OH）图案化为高度结晶的微条纹。微条纹的形貌与取向强烈依赖于制备温度：在结晶温度以下制备的微条纹均匀有序，展现出高场效应晶体管（FET）迁移率——此时TTP主链的π-π堆叠方向垂直于微条纹，分子以层状结构直立在SiO2/Si基底上，为p型电荷传输提供了有效通道；而在液晶相或各向同性液体温度范围较高温度下制备时，晶体形成过程会产生大量缺陷并导致晶胞倾斜，致使FET迁移率急剧下降。研究提出了不同温度区间分子堆叠的可能机制。该策略有望为OFETs的高性价比制备提供新途径。
关键词： 有机场效应晶体管、近晶相液晶、三噻吩、排列、图案化
更新于2025-09-23 15:23:52
-
[IEEE 2018国际柔性电子技术会议(IFETC) - 加拿大安大略省渥太华(2018.8.7-2018.8.9)] 2018国际柔性电子技术会议(IFETC) - 利用可交联聚合物提升银纳米线透明电极与PET薄膜的粘附性
摘要： 银纳米线、碳纳米管和石墨烯已应用于柔性电子领域。这些材料在聚合物基底上的粘附与图案化一直是个挑战。本文报道了一种通过使用可热交联聚合物来改善银纳米线与聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）薄膜之间粘附性的新方法。该技术被证实能非常有效地提升银纳米线与PET基底间的粘附性能。
关键词： 粘附性、印刷电子学、图案化、可交联聚合物、银纳米线
更新于2025-09-23 15:22:29
-
基于介孔光子晶体和纳米凝胶的高性能多功能比色湿度传感器
摘要： 比色传感器作为光子晶体（PCs）应用的关键分支，激发了科学家们的研究热情。本文报道了一种由聚（丙烯酰胺-N,N'-亚甲基双丙烯酰胺）（P(AM-MBA)）纳米凝胶与二氧化钛纳米颗粒交替组装构建的简单介孔结构色一维光子晶体（1DPCs），其作为高性能比色湿度传感器表现出优异性能。这些色彩鲜明的传感器对相对湿度（RH）变化响应迅速，在0.5秒内即可达到传感平衡。当相对湿度从47.0%变化至89.3%时，传感器禁带波长从426纳米迁移至668纳米，几乎覆盖整个可见光范围。同时，该湿度可视化传感具有良好的可逆性与重复性。此外，通过以纳米二氧化钛为催化剂对聚合物层进行局部紫外光降解，可轻松制备具有精细图案的传感器。这些精致图案与背景呈现不同颜色，并能随环境湿度变化同步快速变色。研究还在光子晶体传感器上实现了精确的二维码图案，发现只有在提高湿度以实现图案与背景的高色彩对比度时，才能成功读取数据?；谄渥吭叫阅?，这种多孔杂化光子晶体有望作为兼具高性能湿度传感功能及潜在显示、装饰、信息存储与加密功能的多功能传感器。
关键词： 比色湿度传感器、光子晶体、纳米凝胶、图案化、介孔结构
更新于2025-09-23 15:21:21
-
[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018年7月9日-2018年7月13日)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 金纳米颗粒修饰图案化碳纳米管的光发射研究
摘要： 利用边缘效应和局域表面等离子体共振效应，经金纳米颗粒修饰的碳纳米管阵列实现了增强的光发射。与未图案化的碳纳米管相比，图案化碳纳米管的量子效率从3.69×10??提升至1.85×1???；经金纳米颗粒修饰后，其量子效率进一步增至4.98×10??。该研究使碳纳米管成为具有高稳定性和高效率的光电阴极潜力材料。
关键词： 图案化、光阴极、金纳米粒子、碳纳米管
更新于2025-09-23 15:21:21
-
利用二氧化碳激光辅助抛光提高材料去除率实现碳化硅（SiC）球面镜及表面图案化
摘要： 碳化硅（SiC）因其相较于其他常用玻璃和金属具有诸多优势，而被公认为高性能光学应用的绝佳材料。SiC的优异特性包括高强度、高硬度、低密度、高耐热性以及低热膨胀系数。研究人员探究了二氧化碳激光及其加工路径对SiC的影响。该工艺首先在目标图案上制造激光预裂纹，随后沿相同加工路径进行激光辅助抛光。结果显示，存在激光预裂纹的区域材料去除量急剧增加。这种显著的材料去除差异不仅被用于制造直径1100毫米、深度127微米的凹面镜，还实现了宏观与微观图案的加工。成功制备出宽度2毫米至200微米、深度5微米至20微米的沟槽。
关键词： 材料去除率，二氧化碳激光器，图案化，抛光，混合工艺
更新于2025-09-23 15:21:01
-
压电薄膜的喷墨打印直接图案化
摘要： 喷墨打印目前正作为一种低成本、环保的电子器件增材制造技术受到关注。通过喷墨打印在高表面能基底上实现功能金属氧化物薄膜的图案化仍具挑战性，通常需要光刻工艺辅助。本研究揭示了一种无需光刻与蚀刻的新型工艺——利用喷墨打印的烷硫醇基模板，在原始铂化硅基底上直接图案化锆钛酸铅（PZT）薄膜。该技术无需在PZT打印前后分别进行光刻和蚀刻处理，可实现亚100微米级特征尺寸并精确控制最终薄膜厚度。喷墨打印的PZT展现出溶液法薄膜典型的铁电与压电特性：剩余极化强度13 μC/cm2，矫顽场58 kV/cm，介电常数900，介电损耗0.07，有效纵向压电系数50 pm/V。
关键词： 压电材料、锆钛酸铅、喷墨打印、图案化、自组装单分子层
更新于2025-09-23 15:21:01
-
飞秒激光刻蚀氮化铝薄膜的研究
摘要： 本研究提出一种飞秒激光刻蚀方法，用于对蓝宝石衬底上通过金属有机化学气相沉积生长的氮化铝（AlN）薄膜进行图案化。通过控制典型脉冲能量，设计图案被精确写入AlN薄膜。采用三维激光扫描共聚焦显微镜和扫描电子显微镜表征了图案化结构的形貌；利用拉曼光谱仪和透射电子显微镜分析了晶体质量和薄膜应变。结果表明，在仅轻微改变晶体质量的情况下实现了稳定的形貌特征。激光刻蚀后，AlN薄膜的拉应力得到释放，且薄膜表面略微压缩。因此，飞秒刻蚀有望成为薄膜生长过程中的原位图案化方法。
关键词： 薄膜应变、图案化、晶体质量、飞秒激光、氮化铝、薄膜
更新于2025-09-23 15:19:57
-
[2019年IEEE国际传感器与纳米技术会议（SENSORS & NANO）- 马来西亚槟城（2019年7月24日-25日）] 2019年IEEE国际传感器与纳米技术会议——面向先进器件应用的单层石墨烯图案化CO?激光功率优化
摘要： 由石墨烯及其复合材料制成的透明导电薄膜（TCFs）已成为传感器、发光二极管（LED）、有机LED、太阳能电池和超级电容器等先进器件的潜在电极材料。这些TCFs需通过图案化处理才能应用于上述器件。本研究采用CO?激光对这类TCFs进行图案化加工，针对转移至显微镜载玻片和聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）等透明基底的单层石墨烯薄膜，优化了不同激光功率下的有效图案化参数。同时考察了不同激光功率对图案化前后石墨烯TCFs电学性能的影响。研究发现：在多种功率条件下，图案化石墨烯TCFs均未出现薄膜收缩、卷曲或团聚现象；经CO?激光烧蚀处理后，图案化石墨烯薄膜的方阻值保持不变。优化的CO?激光图案化条件为单层石墨烯提供了简便、快速且省时的图案化加工技术。
关键词： 激光、图案化、薄膜、石墨烯、透明导电膜
更新于2025-09-16 10:30:52
-
通过毛细力控制上转换纳米晶体的图案化
摘要： 镧系掺杂上转换纳米粒子（UCNPs）可吸收近红外光子并将其转化为可见光和紫外光发射。这类纳米材料具有卓越的光学性能，在多种技术应用中作为活性平台极具潜力。实现大面积基于纳米粒子的光子元件的高有序制备，对发光调控具有根本性意义。然而尽管已付出诸多努力，UCNPs在大面积空间图案化形成高可控有序阵列方面仍面临挑战。本研究报道了一种通过聚合物微球和UCNPs模板组装实现光学纳米材料高通量图案化的策略。该技术利用毛细力驱动混合团簇进入物理模板，从而形成大面积空间有序的粒子阵列。本研究成果可推动固态激光阵列、高密度光存储和防伪标签等新型非线性光学器件的发展。
关键词： 自组装、稀土元素、图案化、上转换纳米粒子
更新于2025-09-16 10:30:52