AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 基于臭氧的湿法化学蚀刻数值模拟

摘要： 在光伏行业中，湿化学浴槽被用于表面结构化、处理及清洁。除清洗硅片外，基于臭氧的湿化学清洁工艺还具有选择性回蚀发射极和/或圆化纹理表面的附加效果。为模拟并预测清洁过程中微金字塔的圆化现象，我们建立了二维工艺模拟模型。通过COMSOL Multiphysics有限元方法描述了臭氧沿金字塔表面的扩散与对流质量传输过程。从实验结果获得的重要评估参数包括微金字塔尖端的蚀刻速率和最终圆整度（R）。为调整模型进行了参数化研究，该模拟准确反映了实验数据——例如在2分钟暴露时间后，实验测得R值为67纳米，模拟结果为66纳米。