利用增强型镜面反射结构提升垂直腔面发射激光器件的辐射效率

摘要： 垂直腔面发射激光器（VCSEL）器件通过多种视角运作以满足不同应用需求。一种简单通用的实现方法是在VCSEL芯片封装过程中引入散射元件。然而这会不可避免地产生反向散射损耗，从而抑制VCSEL器件的辐射效率。为此，我们提出了一种带开口圆窗（OCW）的增强镜面反射（ESR）结构来回收反向散射光。采用光线追迹法优化OCW直径及ESR结构厚度，并探讨了光提取机制?；诶砺劢峁票噶擞呕疎SR结构的VCSEL器件并与传统器件对比。实验表明，ESR结构能显著提升采用散射元件的VCSEL器件辐射效率，在照明和三维成像应用中展现出巨大潜力。