一种简便制备新型三维多孔硅/金结构用于表面增强拉曼散射的方法

摘要： 基于硅的表面增强拉曼散射（SERS）传感技术是检测各类化学和生物物质的有力工具。进一步提升硅基SERS平台的简易性、稳定性、灵敏度及低成本特性仍对实际应用具有重要需求。本研究报道了一种具有优异SERS性能的三维（3D）多孔硅/金SERS平台的简易制备方法。该方法通过在铝硅铸造合金表面诱导激光生成枝晶状微结构，随后从激光处理表面脱合金去除铝元素，形成三维枝晶状多孔硅基底。通过溅射工艺在该基底上镀覆金膜，从而构建三维多孔硅/金SERS平台。该平台展现出高灵敏度SERS性能，可实现对罗丹明6G分子低至10^-15 M浓度的超灵敏检测，增强因子达到10^11至10^12量级。随机选取15组SERS光谱测得相对标准偏差为6.2%，证实了所制备三维多孔硅/金SERS平台具有卓越的重复性。