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[IEEE 2019年光子学北美会议(PN) - 加拿大魁北克市(2019.5.21-2019.5.23)] 2019光子学北美会议(PN) - 基于Pr<sup>3+</sup>掺杂硫系玻璃波导的中红外多组分气体传感器设计
摘要： 掺镨硒化物薄膜通过射频磁控溅射沉积在热氧化硅片上。随后采用光刻和干法刻蚀技术制备脊形波导。在1.55微米波长光泵浦下，记录到3.5至5.5微米波段的宽带导模中红外光致发光。光学设计证实这些有源波导能在重要环境气体（CO2、CO、NO）的不同吸收波长实现单模光传输?；谥胁ê焱舛嗄８缮嬉牵∕MI）的多组分气体传感解复用器已完成设计。
关键词： 中波红外、多模干涉、中红外、多物种传感、稀土元素、硫属化合物
更新于2025-09-11 14:15:04