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oe1(光电查) - 科学论文

3 条数据
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  • 乙烯-醋酸乙烯酯增溶碳纳米管用于溶液法制备导电薄膜及钙钛矿太阳能电池中的电荷提取层

    摘要： 通过共轭半导体聚合物非共价包裹实现碳纳米管（CNT）溶解是一种常用技术，用于制备稳定的分散液以便从溶液中沉积碳纳米管。本研究报道采用非共轭绝缘聚合物乙烯-醋酸乙烯酯（EVA）在有机溶剂中分散多壁和单壁碳纳米管（MWCNT与SWCNT）。实验证明尽管EVA具有绝缘特性，我们仍能制备出电导率高达34 S/cm的半透明薄膜。光致发光光谱显示EVA能与单个碳纳米管强结合，从而使其溶解、防止团聚并促进高质量薄膜沉积。为验证该复合材料的优良电子性能，我们采用EVA/SWCNT和EVA/MWCNT作为选择性空穴接触层制备钙钛矿太阳能电池，获得最高17.1%的功率转换效率，证明该绝缘聚合物不会阻碍活性材料向碳纳米管的电荷转移。

    关键词： 钙钛矿太阳能电池、碳纳米管、绝缘聚合物、导电薄膜、碳纳米管聚合物功能化

    更新于2025-11-14 15:25:21

  • 钛及氮化钛薄膜沉积工艺中减少颗粒缺陷的策略

    摘要： 半导体制造中产生颗粒缺陷不可避免，但必须将其降至最低以提高集成电路良率。不同半导体制造工艺（如扩散、薄膜沉积、光刻、刻蚀和清洗）会产生多种颗粒缺陷。本文探讨了ALD氮化钛、射频磁控溅射钛和物理气相沉积氮化钛等薄膜沉积工艺中的主要缺陷生成机制，并提出了多种减少薄膜沉积工艺缺陷的策略，包括定期清洗优化、负载清洗、空闲粘贴、定期粘贴优化、套件寿命优化、靶材烧结优化以及套件硬件选型。本文还讨论了硬件引发的表面缺陷及其解决方案。

    关键词： 导电薄膜、集成电路制造、金属材料、无污染制造、薄膜技术

    更新于2025-09-10 09:29:36

  • [2018年IEEE精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日-2018年7月13日）] 2018年精密电磁测量会议（CPEM 2018）- GRACE：为未来石墨烯电子器件开发电学表征方法

    摘要： GRACE——为未来石墨烯电子学开发电学表征方法是欧洲计量创新与研究计划2016年规范性联合研究项目。该项目聚焦于石墨烯电学特性的测量，其目标是制定经验证的测量方法与规程（包括高通量测量范例），并与国际标准化委员会合作开展工作，旨在发起并制定专项文件标准。

    关键词： 导电薄膜、标准化、计量学、电变量、石墨烯、电子工业

    更新于2025-09-10 09:29:36