组合实施平滑技术以改善激光四象限多方向照明均匀性

摘要： 方位角平滑（AS）技术能使激光四象限的焦斑在几皮秒周期内旋转，从而提升照明均匀性。但由于焦斑中心区域转速较低，其平滑效果逊于光谱色散平滑（SSD）。本文探讨了结合光谱色散平滑、径向平滑（RS）与方位角平滑的综合方案以实现更优且更快的照明均匀性。通过建立该综合平滑方案的理论模型分析其平滑性能，并对影响平滑效果的关键参数（包括拓扑荷数与波长差）进行优化分析。仿真结果表明，该综合平滑方案能显著提升激光四象限在多方向上的照明均匀性。