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[美国激光学会ICALEO? 2017：第36届激光与电光应用国际会议 - 美国佐治亚州亚特兰大（2017年10月22-26日）] 激光与电光应用国际会议 - 用于非平面表面快速制造的激光直写光刻技术
摘要： 本文介绍了一种具有动态聚焦功能的改进型激光直写光刻系统。该优化系统能够实现大曲率非平面表面的快速加工，为曲面微图案的便捷高效制备提供了新途径。系统采用直线音圈电机驱动的动态聚焦透镜组，在实时加工过程中可快速调控激光焦点精准定位曲面。其聚焦范围达10毫米，配合Z轴位移台时聚焦范围可进一步扩大。通过推导动态聚焦数学模型并验证实验数据与数值分析高度吻合，证实了系统的实用性。研究不同倾斜角度坡面对曝光线宽的影响后，最终在直径30毫米、曲率半径19.918毫米的凸面基底上制备出同心圆光栅。该光栅具有均匀的10微米线宽与20微米线距，总加工时间控制在40秒内。该技术能显著提升加工效率，在任意三维曲面上快速制备衍射光学元件（DOE）或微机电系统（MEMS）等领域具有重要应用潜力。
关键词： 非平面表面、动态聚焦、微图案、快速制造、激光直写光刻
更新于2025-09-23 15:19:57
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开发一种全自动桌面化学气相沉积系统，用于可编程和可控的碳纳米管生长
摘要： 我们合理设计并开发了一套全自动桌面炉系统，该系统能够实现可编程的碳纳米管化学气相沉积生长，精确控制其高度、密度和图案结构。该系统由加热炉、质量流量计和计算机控制器等关键组件构成，在无需昂贵笨重仪器的情况下实现了可控且实用的碳纳米管生长。通过在该系统中编程、修改和加载可复用的工艺配方，能够系统性地重复生长具有目标形貌和尺寸的碳纳米管。实际操作中展示了高度、密度和图案可控的生长结果，证实了该系统在各类实际应用中的有效性和实用性。
关键词： 炉子、可编程生长配方、桌面系统、化学气相沉积、微图案、自动控制、纳米图案、碳纳米管
更新于2025-09-16 10:30:52