- 标题
- 摘要
- 关键词
- 实验方案
- 产品
-
用于电子皮肤应用的高度敏感且灵活的微金字塔结构压力传感器的激光辅助制造
摘要： 一种基于微结构聚二甲基硅氧烷（PDMS）介电层的新型电容式压力传感器被开发用于可穿戴电子皮肤和触觉传感应用。该压力传感器以柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）为基底，分别采用PDMS和银（Ag）作为介电层与电极层。通过激光雕刻的丙烯酸模具制备了一组具有金字塔形微结构的PDMS薄膜。电极（上下层）采用加成丝网印刷工艺在PET薄膜上沉积银制成。压力传感器通过将上下层银电极粘贴至金字塔形微结构PDMS（PM-PDMS）薄膜的光滑面进行组装，随后将上层PM-PDMS覆盖于下层PM-PDMS之上。通过施加0至10千帕的压力测试该传感器的性能，在0-100帕、100-1000帕及1-10千帕压力范围内分别获得0.221% Pa?1、0.033% Pa?1和0.011% Pa?1的灵敏度，对应相关系数达0.9536、0.9586和0.9826。该传感器还具有50毫秒的快速响应时间、0.7%的低迟滞、150毫秒的恢复时间，并在1000次循环中保持优异的稳定性。测试结果表明其能有效检测手势动作和颈动脉脉搏测量等多种活动产生的压力。这种基于PM-PDMS的压力传感器为电子皮肤应用中的压力监测提供了一种简单经济的解决方案。
关键词： 电子皮肤、激光图案化、压力传感器、微金字塔结构、聚二甲基硅氧烷（PDMS）、丝网印刷工艺、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）
更新于2025-09-19 17:13:59
-
AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 基于臭氧的湿法化学蚀刻数值模拟
摘要： 在光伏行业中，湿化学浴槽被用于表面结构化、处理及清洁。除清洗硅片外，基于臭氧的湿化学清洁工艺还具有选择性回蚀发射极和/或圆化纹理表面的附加效果。为模拟并预测清洁过程中微金字塔的圆化现象，我们建立了二维工艺模拟模型。通过COMSOL Multiphysics有限元方法描述了臭氧沿金字塔表面的扩散与对流质量传输过程。从实验结果获得的重要评估参数包括微金字塔尖端的蚀刻速率和最终圆整度（R）。为调整模型进行了参数化研究，该模拟准确反映了实验数据——例如在2分钟暴露时间后，实验测得R值为67纳米，模拟结果为66纳米。
关键词： 光伏产业、数值模拟、微金字塔结构、基于臭氧的湿法化学蚀刻、COMSOL Multiphysics
更新于2025-09-11 14:15:04