[美国机械工程师学会 2018年国际设计工程与计算机信息技术会议 - 加拿大魁北克省魁北克市（2018年8月26日星期日）] 第4卷：第23届制造与生命周期设计会议；第12届微纳系统国际会议 - 一种快速微制造新方法

摘要： 我们介绍了一种新颖的微制造方法，该方法使用配备超声微绘图仪的光刻胶直写技术。首先，光刻胶通过毛细作用被驱动进入移液管。随后利用该移液管直接在聚二甲基硅氧烷（PDMS）基底上绘制微结构。光刻胶在加热板上固化后作为复制模具使用。接着在模具上浇注第二层PDMS，待其在加热板上固化后从模具剥离，即可获得所需的微结构。实验证明，该方法无需洁净室环境，就能实现超快速、低成本地制造微通道（宽度39.65微米）。