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[IEEE 2018国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - 洛桑(2018.7.29-2018.8.2)] 2018年国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - MEMS扫描镜的选择性渗透阻尼技术
摘要： 准静态MEMS扫描镜用于任意轨迹的光束偏转。其必须根据所需速度提供宽泛的机械带宽。本研究描述了一种通过凝胶液滴被动阻尼MEMS镜的方法，可有效提升可用带宽。该方法通过向镜体结构注入介电凝胶实现，并提出了相应的渗透工艺。研究考察了最大倾角、频率响应等静态与动态特性，同时探讨了镜面双轴耦合等寄生效应的抑制方法。
关键词： 阻尼、频率响应、粘弹性凝胶、扫描镜、微机电系统（MEMS）
更新于2025-09-23 15:21:01
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[2019年IEEE第32届国际微机电系统会议(MEMS) - 韩国首尔(2019.1.27-2019.1.31)] 2019年IEEE第32届国际微机电系统会议(MEMS) - 用于投影显示的闭环控制CMOS MEMS双轴扫描镜
摘要： 本工作展示了一种双轴电磁驱动压阻传感扫描镜，其θopt?D?fr,fast参数超过2400度·毫米·千赫兹，具备实现HD720（720×1280）显示分辨率的能力。驱动与传感功能均通过CMOS MEMS技术便捷实现。该换能机制相比电容式驱动扫描镜具有更线性的响应特性?；谇氪行阅艿目诽匦员碚?，设计并验证了慢轴运动的闭环控制方案。
关键词： 压阻式传感、闭环控制、扫描镜、CMOS MEMS、电磁驱动、投影显示
更新于2025-09-12 10:27:22