半导体制造中监测过量零计数颗粒的统计过程控制

摘要： 在现代半导体制造中，某类测量的粒子计数数据存在过量零值现象，测量中零值比例通常超过50%。这类粒子计数样本数据无法通过泊松分布、零膨胀泊松分布（ZIP）、广义分布（GZIP）、内曼分布及伽马-泊松分布等常用缺陷模型进行良好建模。本文提出阈值-泊松模型来描述具有过量零计数的粒子，并开发了参数估计方法。通过使用15组实测样本与这些常用模型对比，表明阈值-泊松模型能更好地拟合测量数据。同时提出名为阈值-c控制图的控制图方法并推导出控制限，基于模拟研究还讨论了构建控制图的合理最小样本量。