[IEEE 2018国际半导体会议（CAS）- 罗马尼亚锡纳亚（2018.10.10-2018.10.12）] 2018年国际半导体会议（CAS）- 掺杂Sm和La的ZnO特性对比研究

摘要： 采用喷雾沉积法在玻璃基底上制备了钐和镧掺杂的纳米结构ZnO薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱及紫外-可见光谱研究了不同浓度(0%至1%)的Sm和La对ZnO结构和光学性能的影响。X射线衍射研究表明，ZnO薄膜具有锌矿晶体结构，并显示出沿(101)晶向的择优生长取向。Sm和La掺杂导致薄膜结晶度及电磁波谱可见光区的透明度发生变化。掺杂浓度增加会使透明度略有提升。