采用基于原子层沉积（PEALD）的Al2O3/有机-无机纳米杂化层交替结构的高级薄型气体阻隔薄膜

摘要： 在本研究中，我们报道了一种基于等离子体增强原子层沉积（PEALD）的Al2O3/有机-无机（O-I）纳米杂化气体阻隔膜，该薄膜展现出极低的水蒸气透过率（WVTR）、高渗透活化能、优异的可见光透光率以及良好的柔韧性。通过电学钙测试测得，我们制备的4对PEALD基Al2O3/O-I纳米杂化气体阻隔膜的WVTR值为7.83 × 10?5 g/m2/天（60°C，90%相对湿度），渗透活化能为103.10 kJ/mol。其可见光透光率达到96.14%，临界弯曲半径为7-9毫米。在PEALD基Al2O3层间引入O-I纳米杂化层显著提升了气体阻隔膜在防腐性、附着力和柔韧性方面的性能。