自对准激光切割有机电化学晶体管

摘要： 有机电化学晶体管（OECTs）是一种利用活性沟道材料中离子/电子物质体相传输的开关与传感器件，具有高放大倍数和稳健的电学特性。传统OECT沟道图案化技术通常需要多步光刻工艺，会引入不必要的寄生电容并造成活性材料浪费。本研究提出一种新型OECT图案化方法：通过疏水绝缘层结合激光切割技术，实现源/漏电极、绝缘层与沟道的自对准，并能"拖放式"控制活性材料沉积量至激光穿孔中。我们证明该方法可在柔性阵列上制备多种OECT器件（包括悬空式和通孔式沟道），这些结构在生物应用中具有优势。实验显示该方法能保持OECT的高性能，并在整个阵列中呈现良好重复性。此外，该方法兼容多种生物传感场景所需的柔性阵列（从神经信号采集到再生医学应用）。该方案利用OECT固有的体相传输特性，开创了一种新型制备工艺，为传统图案化技术受限的生物电子传感器提供了新的图案化途径。