利用金刚线切割多晶硅废料直接氮化制备α-Si?N?

摘要： 随着半导体产业和太阳能光伏产业的快速发展，金刚线切割产生了大量多晶硅废料，这些废料不仅污染环境，还因其超细粒径和高反应活性引发安全隐患。本研究采用直接氮化法将金刚线切割多晶硅废料制备为α-Si3N4。该方法不仅能实现废料完全回收利用、减少环境污染，还可降低α-Si3N4的生产成本。研究还分别详细考察了FeCl3、NaCl及金属Cu对多晶硅废料氮化过程的影响，发现FeCl3和NaCl并非制备α-Si3N4的理想添加剂；而添加5 wt.% Cu并在1250℃氮化8小时后，可获得以α-Si3N4为主的Si3N4产物，其α相相对含量达92.37%。