[2018年IEEE第七届世界光伏能源转换大会(WCPEC)（第45届IEEE光伏专家会议、第28届国际光伏科学与技术会议及第34届欧洲光伏专家会议联合会议）- 美国夏威夷州威科洛亚村（2018年6月10日-2018年6月15日）] 2018年IEEE第七届世界光伏能源转换大会(WCPEC)（第45届IEEE光伏专家会议、第28届国际光伏科学与技术会议及第34届欧洲光伏专家会议联合会议）- 面向大规模生产的硅片及成品太阳能电池等离子体织构化技术

摘要： 由于实施前需克服表面污染、离子轰击导致的近表面损伤及表面钝化等若干挑战，标准硅片等离子体织构技术尚未在大规模生产中广泛应用。本文将展示我们当前应对这些挑战的进展，证明仅采用感应耦合等离子体（ICP）织构的样品其电学与光学特性已满足太阳能电池生产要求。鉴于ICP工艺中离子轰击强度较低，我们将基于自掩模工艺的实验结果，阐述对等离子体工艺的现有认知。此外，首次提出一种针对成品太阳能电池SiN层进行等离子体织构的新方法，该方法可解决裸硅片等离子体织构带来的所有问题。