通过毫秒脉冲激光辐照从研磨污泥中生成硅纳米纤维簇

摘要： 通过毫秒脉冲激光照射晶圆背面研磨工艺产生的硅废料，成功生成了硅纳米纤维簇。研究发现，激光诱导羽流的尺寸、强度和生长速度随气体压力变化，而纳米纤维的尺寸和形貌则取决于激光脉冲持续时间。生成的纳米纤维主要为非晶态，其顶端附着有晶体纳米颗粒。纳米纤维的结晶度和氧化程度受硅废料预热条件影响。该研究证明了将硅废料转化为功能性纳米材料的可能性，这些材料或可用于制造高性能锂离子电池电极。