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受邀文章：芯片上的可扩展高灵敏度光机械磁力计
摘要： 腔光力磁力计中机械与光学响应的双共振增强实现了磁场的精密传感。在先前此类磁力计的工作样机中，通过人工环氧树脂粘接磁致伸缩材料颗粒来实现腔光力系统功能化。虽然这种方法能进行原理验证演示，但实际应用需要更具可扩展性和可重复性的制备途径。本工作开发了一种多步骤方法，在硅芯片上可扩展地制备光力磁力计，且不同器件间性能具有可重复性。关键步骤是开发出在不降低光学品质因子的情况下，将磁致伸缩薄膜溅射涂覆到高质量环形微谐振器上的工艺。实现了585皮特斯拉每平方根赫兹的峰值灵敏度，与先前使用环氧树脂粘接的报道结果相当。此外，我们证明对溅射薄膜进行热退火处理可使磁力计灵敏度提高6.3倍。
关键词： 光机械磁力计、热退火、灵敏度增强、溅射镀膜、可扩展制造
更新于2025-09-23 15:19:57
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基于四甲基硫脲（TMTU）氧化还原电解液的混合电致变色器件用氧化铱催化剂
摘要： 本研究报告了溅射镀膜氧化铱薄膜作为电致变色器件中四甲基硫脲/四甲基甲脒二硫化物（TMTU/TMFDS2+）氧化还原反应对电极（CE）的研究。涂覆于透明导电氧化物（如掺氟氧化锡F:SnO2）表面约5纳米厚的氧化铱（IrOx）薄膜，在电致变色器件中展现出优异的催化性能和出色的循环稳定性。电化学阻抗谱（EIS）结果表明，电荷转移电阻（Rct）主要受溅射过程中氧流量及膜层厚度影响。低氧流量下制备的IrOx薄膜比完全氧化的氧化铱薄膜具有更低的电荷转移电阻，但亚化学计量比的膜层透光性较差，因此适用性较低。实验采用氧流量≥50标准立方厘米每分钟（sccm）、厚度5纳米的完全氧化高透光（可见光区透光率Tvisible=86%）IrOx膜层，其在1V偏压下对氧化还原电解质的Rct为25Ω·cm2。循环伏安测试显示该IrOx涂层电极对相同氧化还原电解质呈现典型的准可逆特性。经过550次电致变色循环测试表明，5纳米厚IrOx膜层配合TMTU/TMFDS2+电解质足以维持稳定的电致变色窗口。
关键词： 溅射镀膜、氧化还原电解质、氧化铱、电致变色器件、四甲基硫脲
更新于2025-09-04 15:30:14