[论文] 一款具有71dB信噪比、190-1100nm CMOS图像传感器及电调谐多带通滤波器的多光谱成像系统

摘要： 本文展示了一种多光谱成像系统，该系统采用具有线性响应、高信噪比（SNR）和宽光谱响应的CMOS图像传感器（CIS），以及电调谐多带通光学滤波器（其透射波段具有极窄的半高全宽FWHM）。所开发的CIS实现了71dB信噪比、1.5×10^7 e?满阱容量（FWC）、190-1100nm光谱响应，并通过使用低杂质浓度硅晶圆（~10^12 cm?3）在近红外（NIR）波段展现出极高的量子效率（QE）。利用该CIS，在960nm和1050nm波长下成功可视化了5mg/dL葡萄糖扩散至生理盐水溶液的过程——这是无创血糖测量的初步实验，这两个波长分别是水分子与葡萄糖在紫外至近红外波段中呈现吸收特性的特征波长。