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激光干涉光刻制备表面结构的快速傅里叶变换分析
摘要： 本文提出了一种基于快速傅里叶变换（FFT）的分析方法，用于研究激光干涉光刻（LIL）制备的表面结构。该研究采用结合高斯拟合的FFT分析方法，从频谱中确定表面结构的周期和图案分布。对于LIL工艺，可根据所得周期和图案分布反推出入射角与方位角等加工参数。本研究有助于微纳结构的检测、工程中图案分布的分析以及LIL加工误差的评估。
关键词： 表面结构、微纳结构、图案分布、激光干涉光刻、快速傅里叶变换分析
更新于2025-11-25 10:30:42
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通过精细优化纳米级低折射率栅格参数提升有机发光二极管的光学效率和色彩纯度
摘要： 为提取有机发光二极管(OLED)中受限的导波光，目前在阳极与有机层之间插入低折射率(RI)周期性结构作为一项有前景的技术已被广泛研究。然而，基于周期性结构的器件内部光提取方法会导致光谱严重畸变并影响电致发光特性。本研究展示了一种采用周期性低RI纳米点阵列(NDA)作为内部光提取层的简易光提取技术。该NDA通过激光干涉光刻(LIL)工艺简单制备，其周期性图案的结构参数（间距、高度）及分布密度均可通过LIL过程精准调控。有限时域差分(FDTD)法计算分析表明：当周期为300 nm、单元覆盖率0.3、高度60 nm的NDA结构具有最高光提取增强效果且光谱畸变最小。通过对嵌入低RI NDA的OLED进行结构参数计算与实验系统分析，成功制备出高效OLED器件。最终以六边形和矩形排布的NDA-OLED作为代表，其外量子效率分别显著提升至2.44（+29.55%）和2.77（+57.38%）。此外，透明导电氧化物表面纳米级粗糙度带来的不利影响也得到有效抑制。
关键词： 有机发光二极管、纳米点阵列、FDTD模拟、激光干涉光刻、光提取、低折射率
更新于2025-09-23 15:21:01
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通过偶氮苯薄膜表面图案化提高有机太阳能电池的功率转换效率
摘要： 将纳米图案化的偶氮苯薄膜引入有机太阳能电池中以散射入射光，从而增加光子在活性层内的光学路径长度。这最终显著提升了活性层的光电转换效率（PCE）。具体而言，这些偶氮苯薄膜通过激光干涉光刻技术制备出二维交叉表面浮雕光栅图案。随后，将图案化薄膜经强紫外光照射进行漂白和热稳定处理，再集成至P3HT:PC61BM与PTB7:PC61BM太阳能电池中。实验结果显示：P3HT:PC61BM太阳能电池的PCE从1.37%提升至3.19%，增幅达133%；PTB7:PC61BM太阳能电池的PCE从0.53%提升至2.13%，增幅高达302%。
关键词： 偶氮苯薄膜、激光干涉光刻、有机太阳能电池、功率转换效率、表面浮雕光栅
更新于2025-09-12 10:27:22
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基于干涉光刻和电泳沉积的灵敏且可重复的金表面增强拉曼散射传感器
摘要： 表面增强拉曼光谱（SERS）因其无需标记的检测能力和卓越的灵敏度（可实现单分子检测）而成为极具前景的分析工具。由于该技术的灵敏度高度依赖于局域表面等离子体共振，研究者已采用多种方法制备电场增强的金属纳米结构。尽管SERS的实际应用研究已相当深入，但通过简单低成本工艺制备高灵敏度且可重复的SERS传感器仍是挑战。本研究报道了一种基于激光干涉光刻与液相脉冲激光烧蚀生成的金纳米颗粒电泳沉积的大规模金纳米颗粒阵列简易制备策略。所制得的阵列能产生灵敏且可重复的SERS信号，可检测低至10?? M的罗丹明6G，增强因子达1.25×10?。这种优势制备策略有望推动SERS技术的实际应用。
关键词： 激光干涉光刻、电泳沉积、金纳米粒子阵列、表面增强拉曼光谱、液相脉冲激光烧蚀
更新于2025-09-10 09:29:36