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薄金属膜上激光热化学记录过程与亚微米结构记录建模的物理相似性
摘要： 激光热化学记录是一种通过局部激光诱导氧化金属薄膜来直接写入二元平面结构（例如衍射光学元件）的灵活方法。遗憾的是，由于影响因素过多，寻找高分辨率记录方案可能较为复杂。本文提出一种分析难以实现的激光记录方案的方法：基于物理相似性，通过用更易实现的方案（具有不同几何和/或热化学参数）进行建模来模拟这些方案。
关键词： 薄膜、激光直写、激光热化学写入、超高分辨率、激光诱导氧化
更新于2025-09-11 14:15:04