标题
- 标题
- 摘要
- 关键词
- 实验方案
- 产品
中文（中国）
▾
-
激光诱导光化学蚀刻对聚甲基丙烯酸甲酯薄膜的表面平滑处理
摘要： 在氧气和真空条件下，通过激光辐照对聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）薄膜表面进行刻蚀。通过激活粗糙表面附近的氧分子，氧自由基会优先刻蚀PMMA表面的凸起部分。研究采用三种不同波长的激光进行对比：短波长（如325纳米）的激光辐照会产生较高的刻蚀速率，而长波长（如532纳米）则对表面形貌无影响。在真空条件下PMMA表面未被刻蚀，表明氧分子是刻蚀过程的必要条件。
关键词： 表面平滑化、波长依赖性、氧自由基、聚甲基丙烯酸甲酯、激光诱导光化学蚀刻
更新于2025-09-16 10:30:52