利用微球辅助飞秒激光双脉冲烧蚀与化学刻蚀实现纳米结构形貌调控

摘要： 为调节NbSi2涂层与Nb合金之间的热膨胀系数失配，同时抑制NbSi2涂层在中温下的"pest氧化"现象，采用Nb-Si-Si3N4-Ti-Al粉末混合物通过放电等离子烧结工艺在Nb合金表面制备了掺杂Ti和Al的NbSi2-Si3N4复合涂层。研究揭示了涂层组成相形成的热力学可行性基础烧结反应，并考察了涂层在750°C下的抗氧化性能。该涂层具有多相结构，主要由(Nb,Ti)Si2、Si3N4、(Ti,Nb)5Si4、(Nb,Ti)5Si3及少量其他氮化物相构成。经50小时氧化后，NbSi2涂层和NbSi2-Si3N4涂层均出现pest氧化现象，而掺杂Ti和Al的涂层未显现pest氧化迹象。