基于声发射的超短脉冲激光烧蚀焦点位置表征

摘要： 使用超短脉冲激光系统对微结构进行烧蚀，以研究焦点位置对表面形貌的影响。此外，通过适配AISI 4140工件的压电传感器测量声发射信号，并将其与焦点位置及由此产生的表面形貌进行关联分析。通过短时傅里叶变换(STFT)分析确定了与z轴位置变化敏感的频率范围。随后处理显著信号分量以实现焦点位置的推断?；谏⑸湫藕攀凳逼拦澜沟阄恢靡匀繁＜す馍帐垂讨懈呔鹊募偕璧玫搅搜橹?。