使用皮秒脉冲激光无掩?？焖僦圃觳Ａ⒘骺仄骷?

摘要： 传统的玻璃微流控器件制造是一个复杂的多步骤过程，需要结合多种不同的加工技术，通常包括光刻、化学/干法蚀刻以及热/阳极键合。因此，该过程耗时且成本高昂，特别是在开发微流控原型或小批量生产时。本报告描述了一种仅需使用皮秒脉冲激光系统作为唯一工具的制造技术，可直接从透明玻璃基板制备微流控器件。该激光系统用于在玻璃上直接生成微流控图案、在玻璃盖板上钻孔以形成进出口端口，并将两片玻璃板键合在一起以从顶部封闭激光生成的图案。该方法可在数小时内制造出功能完整的微流控器件，且无需使用任何投影掩模、危险化学品或额外昂贵设备（如掩模写入器或键合机）。该方法适用于制备多种类型的微流控器件，例如Hele-Shaw腔室以及包含类似真实岩样放大横截面的复杂图案的微流控器件（适用于CO2封存、水修复和碳氢化合物开采过程研究）。该方法还提供了将这些器件内部嵌入小型三维物体的途径。