基于硅-氧化铟锡异质结的混合波导光学调制

摘要： 提出了一种基于硅与氧化铟锡（ITO）混合光波导的光调制器。该混合波导通过硅中泄漏光学模式与ITO的耦合形成，利用p型硅与n型ITO之间的异质结实现光调制。ITO的存在导致介电常数和折射率虚部的电调谐，从而为调控导模光强提供途径。采用离子辅助电子束沉积工艺，在不同氧分压下于p型硅晶圆上沉积ITO以优化载流子浓度，制备出Si-ITO异质结器件，在1.55μm波长下实现光强调制。该器件在-5V低电压下，1.7mm长度时展现出7dB的消光比。