《AIP会议录》[作者 面向新技术与可靠结构的高层次结构先进材料 2016：2016年面向新技术与可靠结构的高层次结构先进材料国际会议论文集 - 俄罗斯托木斯克（2016年9月19-23日）] - 基于Al-Si-N涂层的石英玻璃高速冲击粒子防护

摘要： 该论文展示了基于Al-Si-N体系的涂层在KV玻璃基片上通过脉冲磁控溅射制备的相组成和力学性能研究结果。通过X射线衍射法发现，涂层中含有不同厚度的AlN相（六方密堆积结构）。沉积Al-Si-N涂层体系既能将石英玻璃表层的显微硬度提高至29 GPa，又能保持高弹性性能（韦布尔模量We > 0.70）。实验室测试了高速铁粒子流对脉冲磁控溅射制备的不同厚度Al-Si-N防护涂层的冲击影响。当Al-Si-N涂层厚度从1μm增至10μm时，样品表面因高速铁粒子流冲击形成的弹坑面密度降低为原来的四分之一。