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氧对模型有机锡光刻胶中热和辐射诱导化学的影响
摘要： 有机锡光刻胶因其高极紫外(EUV)吸收截面、辐射敏感化学特性及实现高分辨率图形化的能力，在下一代光刻技术中展现出应用前景。为深入理解温度与辐射诱导的反应机制，我们研究了一种以电中性丁基锡团簇为核心的模型EUV光刻胶。程序升温脱附(TPD)实验显示该丁基锡光刻胶在超高真空环境中几乎无气体释放，且丁基团具有优异的热稳定性。TPD结果表明其分解过程为一级反应，通过丁基团脱附测得分解能维持在2.4-3.0电子伏特区间相对恒定。电子激发脱附(ESD)实验表明，在EUV曝光预期的电子动能范围内，丁基团是主要的分解产物。通过低能电子辐照前后的X射线光电子能谱(XPS)分析，评估了丁基锡光刻胶与辐射相互作用后的成分及化学变化。ESD实验中分子氧的影响研究表明：氧气会增强辐照过程中的丁基团脱附效应，使ESD截面显著提升超过20%。这些机理性发现可为有机锡EUV光刻胶提供应用依据——通过调控EUV曝光时的环境条件，有望显著提高光刻胶的感光灵敏度。
关键词： X射线光电子能谱、电子激发脱附、极紫外光刻、有机锡光刻胶、程序升温脱附
更新于2025-09-23 15:23:52
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甲醇和乙醛在铂修饰板钛矿型TiO?纳米棒上的热反应与光催化反应
摘要： 研究了添加铂对单分散板钛矿相二氧化钛（B-TiO2）纳米棒（NRs）催化及光催化活性的影响。通过溶液光沉积法在纳米棒表面负载铂，并采用XPS、STEM和LEIS技术对铂修饰纳米棒进行表征。随后利用超高真空（UHV）条件下的程序升温脱附（TPD）技术评估其热催化与光催化活性。研究发现：铂主要作为热反应的位点阻滞剂发挥作用，同时会作为光生电子-空穴对的复合中心抑制光催化活性；但经氧气预处理后，铂修饰纳米棒表现出增强的光活性，表明吸附氧通过与B-TiO2导带光生电子反应，在铂表面沉积物上生成稳定的超氧物种，从而阻止电子-空穴复合。这些结果清晰揭示了金属沉积物（如铂）以及金属表面吸附物种如何改变氧化物表面的载流子动力学行为。
关键词： 板钛矿、乙醛、光氧化、二氧化钛、程序升温脱附、超高真空、甲醇、铂
更新于2025-09-23 15:21:21
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利用X射线光电子能谱研究CoGe表面氧化
摘要： 钴锗化物作为半导体接触材料已被广泛研究，但最新理论研究表明，它们也可能是甲烷蒸汽重整反应的优异催化剂，其稳定性和活性可与更昂贵的贵金属催化剂相媲美。我们通过溅射沉积制备了CoGe合金薄膜，并在高真空环境下对其进行高达1000°C的退火处理后表征其结构与形貌。采用X射线光电子能谱研究了非晶态和晶态CoGe合金表面在低压O?和H?O环境下的初始氧化行为。发现非晶态CoGe表面在O?中的氧化速率快于晶态表面，而两种表面在H?O中的氧化速率差异甚微。O?氧化过程中，晶态表面优先形成GeO，非晶态表面则优先形成GeO?。我们还观察到CoGe薄膜中Ge元素存在优先氧化现象。温度程序脱附研究表明，GeO脱附始于约350°C，而GeO?在约700°C分解为GeO并脱附。尽管需要进一步研究CoGe催化剂的性能，但在氧化性反应环境中，GeO脱附可能成为薄膜材料的潜在问题。
关键词： 氧化、锗化钴、程序升温脱附、原子力显微镜、X射线光电子能谱、X射线衍射
更新于2025-09-23 15:21:21
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温度程序升温和激光诱导脱附实验中共沉积铍层氘释放的CRDS建模
摘要： 采用速率方程和CRDS代码，在温度程序控制脱附（TPD）和激光诱导脱附（LID）实验条件下，对高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）共沉积的铍/氘层释放氘的过程进行建模。通过模拟TPD结果来拟合氘捕获参数，进而用于模拟LID过程。将TPD结果与JET-ILW和UCSD样品的等效数据进行对比。HiPIMS样品展现出与UCSD和JET样品不同的释放行为：在相同加热速率下，其释放峰更窄且无法使用同一组参数建模。当选择能复现TPD峰位置的特定扩散-捕获参数时，LID效率的建模结果与实验观测具有定性一致性。特别指出的是，除非表面温度超过铍的熔融阈值，否则低氘含量样品在激光加热过程中无法实现完全脱气。
关键词： 铍共沉积、氢滞留、反应-扩散、程序升温脱附、腔衰荡光谱、激光诱导解吸
更新于2025-09-23 15:19:57