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材料降解对表面介质阻挡放电电学和光学特性的影响
摘要： 本文中，在三种不同电介质（多层聚酰亚胺、石英和氧化铝）上非对称制备了丝网印刷电极。通以交流电后，在大气压下产生可持续的表面介质阻挡放电（SDBD）等离子体。等离子体处理过程中，观察到材料降解和放电图像的不同变化。分别通过光学发射光谱（OES）和利萨如图形分析研究了相应的电学和光学特性。研究发现，基于聚酰亚胺的SDBD器件表面同时发生电介质降解和电极侵蚀，而基于石英和氧化铝的器件仅出现电极侵蚀，这导致电学特性呈现不同变化。OES计算结果表明：随着放电老化时间增加，基于聚酰亚胺的SDBD器件电子温度升高，而基于石英和氧化铝的器件电子温度降低；但三种电介质的气体温度均随老化时间增加而上升。此外，相较于振动温度和气体温度，电子温度分布更适用于评估等离子体处理过程中放电均匀性的变化。
关键词： 电气特性、等离子体加工、光学特性、表面介质阻挡放电、材料退化
更新于2025-09-23 15:21:21
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利用电子束产生的等离子体精确控制离子和自由基的生成
摘要： 精确控制等离子体组分的相对与绝对通量及其在表面的能量沉积，对于实现原子层精度的材料等离子体加工至关重要。除低损伤需求外，下一代纳米电子学所需的复杂器件结构还需调控自由基与离子比例。电子束产生的等离子体能在保持低电子温度（0.1-1.0 eV）的同时，产生宽范围的带电粒子密度（10^9-10^12 cm^-3），且在反应性气体环境中相比放电过程具有较低的自由基产率。这些特性使得相邻表面的离子能量及离子/自由基通量比均可精准调控。后者通过将电子束等离子体与促进自由基产生的辅助等离子体源耦合实现。本研究结合发射光谱与朗缪尔探针测量法，测定了与同环境运行的远程感应耦合等离子体源耦合的电子束Ar/SF6等离子体中正离子与氟原子密度。结果表明该方法可独立调控正离子与F自由基密度，使离子/自由基密度比在2-3个数量级范围内变化。
关键词： 电子束产生的等离子体、离子产生、原子层精度、自由基产生、等离子体加工
更新于2025-09-23 15:21:01
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近室温制备的高透明导电AZO薄膜的电学、光学、结构及形貌特性研究
摘要： 报道了一项关于通过三维受限直流磁控溅射法制备的不同厚度高透明导电掺铝氧化锌（AZO）薄膜的微观结构、电学、光学及形貌特性相关性研究。等离子体诊断表明，在高密度等离子体环境下，可在低温条件下制备出电阻率低至约5.2×10?? Ω·cm、最高透光率约89%、具有良好结晶结构和光滑形貌的AZO薄膜。薄膜特性间的关联性揭示：填充锌空位中的锌原子可能是制备出具有更优微观结构、高载流子迁移率及高浓度富集的AZO薄膜的关键因素。
关键词： AZO薄膜，三维受限磁控溅射，透明导电氧化物（TCO），等离子体加工
更新于2025-09-10 09:29:36
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一种适用于空间和等离子体边缘应用的微型等离子体光谱仪（特邀）
摘要： 本文描述了一种基于光刻和微芯片堆叠技术进步的等离子体光谱仪设计。一系列带有集成准直器的曲面板能量分析器被蚀刻在硅晶圆上。研究人员使用5千电子伏特的电子束对光谱仪元件（能量分析器和准直器）进行了测试。实测的准直器透射率和能量选择性均与设计目标高度吻合。单个晶圆元件可作为等离子体处理或聚变第一壁的诊断工具。
关键词： 电子束、微芯片堆叠、硅晶圆、等离子体加工、聚变第一壁诊断、光刻、等离子体光谱仪、准直器、能量分析仪
更新于2025-09-04 15:30:14