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利用整形光束在硅中直写直线与弯曲波导的纳秒激光加工技术
摘要: 作者展示了一种利用纳秒激光在晶体硅晶圆中横向刻写光波导的方法,该激光通过一对柱面透镜形成特定形状的光束轮廓。与传统刻写方法不同,该方法避免了非对称波导轮廓的形成。所刻写的直线型和弯曲型波导均具有近乎圆形的横向波导轮廓,并能支持1550纳米波长光单模传输。同时测量了该波长下的传输损耗。
关键词: 纳秒激光器、波导、硅、光束整形
更新于2025-09-19 17:13:59
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利用纳秒和飞秒激光在金属表面设计与制备双尺度宽带减反结构
摘要: 具有巨大应用潜力的减反射表面近年来引起了广泛关注并成为研究热点。然而由于金属表面与自由空间之间存在显著的光学阻抗失配,在金属表面实现超低反射率仍是一项挑战。为此,我们提出采用纳秒与飞秒脉冲激光组合的两步策略,在Ti-6Al-4V(TC4)表面构建减反射结构:首先通过控制纳秒激光参数在TC4表面刻划微沟槽以降低界面反射;随后采用正交扫描方式聚焦飞秒激光诱导产生深空气孔和纳米级结构,从而有效增强宽带吸收。通过形貌表征与半球反射率测量,我们探讨了双尺度结构的减反射机理。最终测得覆盖微纳复合结构的改性样品表面在250-2250纳米波长范围内平均反射率仅为3.1%。
关键词: 纳秒激光器、宽带光谱、飞秒激光器、微纳复合结构、减反射表面
更新于2025-09-12 10:27:22