[IEEE 2018年第15届控制、自动化、机器人和视觉国际会议(ICARCV) - 新加坡，新加坡(2018.11.18-2018.11.21)] 2018年第15届控制、自动化、机器人和视觉国际会议(ICARCV) - 扫描电子显微镜中纳米操作平台运动误差的检测与补偿

摘要： 基于扫描电子显微镜（SEM）的纳米操作系统具有良好的实时视觉反馈和纳米级观测分辨率，在真空工作环境中具有较高的可操作性。通过该SEM纳米操作系统可执行碳纳米管（CNTs）的不同纳米操纵任务。现有纳米操纵平台存在固有制造误差、安装误差等问题，且精度不足的纳米操作系统也会增加操作人员的工作负担。本文提出一种结合视觉反馈与前馈控制的方法，用于检测并补偿SEM纳米操作系统中多维SmarAct纳米操纵平台的运动误差。该方法降低了X-Y方向的运动误差，实现了更高的操作精度。在不同步进速度下，X方向与Y方向的运动误差分别为135.7纳米和112.9纳米；经前馈补偿后，X方向与Y方向的运动误差分别降至61.3纳米和54.1纳米。