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[2018年IEEE精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日-7月13日）] 2018年精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 铁电薄膜中残余极化电荷的纳米级精确测量
摘要： 提出了一种在纳米尺度下测量铁电薄膜剩余极化电荷的方法。该方法基于原子力显微镜的电流测量，并引入电容校正以从噪声中提取信号——该噪声比待测信号高出数个数量级。在PbZrTiO3薄膜上成功测得4.2飞库仑的剩余电荷，并提出了降低噪声的解决方案。
关键词： 铁电材料、剩余极化、纳米级电流测量、原子力显微镜
更新于2025-09-10 09:29:36