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oe1(光电查) - 科学论文

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  • [2018年IEEE精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日至13日）] 2018年精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 基于扫描单光子X射线干涉术的硅晶格参数测量

    摘要： 本文描述了通过光学与X射线扫描干涉术相结合的方法，在长度SI单位制下测量硅晶格参数。与传统实验装置相比，单X射线光子量子拍的检测使得X射线干涉条纹能够在更高扫描速度下实现连续数据采集。蒙特卡罗模拟表明，该方案可在保持相同不确定度水平的同时将扫描长度缩短一个数量级。此扫描方法需要配备至少10kHz时钟频率的连续相位获取功能的高分辨率光学干涉仪。

    关键词： X射线、位移测量、阿伏伽德罗常数、国际单位制、干涉测量法、硅晶格参数、纳米计量学

    更新于2025-09-10 09:29:36

  • 采用具有针尖倾斜机构的计量型原子力显微镜进行线宽校准

    摘要： 采用具有倾斜探针机制的计量型原子力显微镜（倾斜式mAFM）对纳米级线图案的线宽或关键尺寸（CD）进行校准。倾斜探针可扫描线图案的垂直侧壁，该设备对线图案两侧各进行一次测量，并将两组数据拼接以重建线图案的完整形貌，进而基于此图案测量CD值。使用具有亚纳米级不确定度的线宽标准样品作为目标样本验证该CD校准流程，经倾斜式mAFM校准测得的CD值为111.2纳米，扩展不确定度为1.0纳米——这是目前已报道的倾斜式AFM仪器CD测量中观察到的最小不确定度，且该CD值与参考值的偏差仅为0.2纳米。结果表明倾斜式mAFM可实现单纳米精度的CD计量。

    关键词： 计量型原子力显微镜、关键尺寸（CD）、校准、倾斜式原子力显微镜、纳米计量学、线宽

    更新于2025-09-10 09:29:36