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具有耐化学性及传感器应用的金属有机框架-含氟聚合物复合墨水的多功能加工
摘要： 我们报道了一类新型金属有机框架（MOF）墨水，其含有疏水性光固化氟聚合物（PFPE），MOF负载量最高可达90 wt%。这些MOF墨水可通过喷涂、笔写、模板印刷和模塑等工艺，在室温下加工处理各类MOF材料。经紫外光固化后，疏水性PFPE基质能有效阻隔水分渗透，同时保持化学物质进入MOF孔隙的通道，从而释放MOF的独特功能。此外，通过引入功能性MOF，我们成功开发出耐水型芳香污染物化学传感器及抗化学腐蚀的温度可视化热传感器。该方法将为原本"休眠"的MOF材料开辟无限应用可能。
关键词： MOF-聚合物复合材料，化学传感器，MOF加工，热传感器，金属有机框架，耐化学性
更新于2025-09-23 15:23:52
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具有高耐化学性的新型间隙填充底部抗反射涂层
摘要： 在半导体制造工艺的最新发展中，除传统要求外，有机底部抗反射涂层（BARC）还需具备多种特性（如窄间隙填充和平坦度等）。此外，由于在TiN工艺中常将BARC用作湿法蚀刻掩模，因此还需具备SC-1耐受性。但含交联剂的传统BARC不仅SC-1耐受性不足，我们还发现其因交联剂导致的放气和薄膜收缩问题，难以同时实现良好的间隙填充与平坦度。本研究开发了新型自交联BARC——该新交联体系因不含交联剂而具有低放气量和低薄膜收缩率，使新型BARC兼具更优的间隙填充性能、更高平坦度，且SC-1耐受性较传统BARC提升3倍以上。通过添加对TiN表面具有高粘附单元的低分子量添加剂，其SC-1耐受性更达传统BARC的10倍以上。凭借宽吸收范围、高蚀刻速率、化学耐受性（SC-1/SC-2/DHF等）及优异的膜厚均匀性，该新型BARC可同时适用于ArF与KrF光刻工艺。本文将详细阐述这种综合性能卓越的新型自交联BARC，以及我们实现高化学耐受性的技术路径。
关键词： KrF、ArF、自交联、填隙、平整度、耐化学性、底部抗反射涂层
更新于2025-09-23 15:22:29
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掺铜镍铝酸盐：合成、表征、光学及颜色性能
摘要： 通过简单且经济高效的溶胶-凝胶法（以柠檬酸为凝胶剂），成功合成了新型环保无机纳米绿色颜料Ni1-xCuxAl2O4（x = 0, 0.02, 0.04, 0.06, 0.08, 0.1）。采用粉末XRD、FT-IR、UV-DRS、SEM-EDX和TEM对合成纳米颜料进行表征。通过元素分布分析验证了Ni0.98Cu0.02Al2O4颜料中Ni、Cu、Al和O等元素的分布。利用CIE-LAB参数研究了颜色特性。DRS测量表明，当x=0.02时，NiAl2O4的带隙能（3.11eV）大幅降至2.63eV，意外地将颜料颜色从青色转变为绿色；而当x=0.1时，颜料颜色变为灰色，对应带隙缩窄至2.17eV。研究了NaF、CaF2、NH4H2PO4和Li2CO3等矿化剂对Ni0.98Cu0.02Al2O4颜色的影响。
关键词： 耐化学性、溶胶-凝胶、柠檬酸、镍铝酸盐、绿色颜料
更新于2025-09-23 15:22:29
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内容：（《先进功能材料》2018年第44期）
摘要： 通过直接电纺溶胶-凝胶溶液（无需牺牲聚合物）制备的二氧化硅纳米纤维膜，因其具有优异的耐高温和耐化学性，可实现高端分离与纯化。通过调控湿度或热处理可改变其疏水或亲水特性。研究表明该膜能实现非均相共沸物的快速重力驱动膜分离。
关键词： 热阻、耐化学性、溶胶-凝胶法、静电纺丝、共沸分离、二氧化硅纳米纤维膜
更新于2025-09-23 15:21:01