通过混合立体视觉改进干涉测量仪器以解决2π模糊性

摘要： 通过高相干干涉测量获得的相位测量结果受2π模糊性的限制，仅能测量小于λ/2的高度差。另一限制因素是大多数干涉测量系统中因CCD型阵列探测器而产生的线性和非线性像差。作者提出了一种新方法，通过立体成像方式克服干涉测量中的2π模糊性。该方法将物体反射的重建波前以两个不同角度传播，从而获取物体的两幅不同图像。随后通过立体算法处理这两幅图像以消除2π模糊性。如文中所述，这种波前传播方法可实现聚焦和消除2π模糊性等多种应用。