受邀文章：通过纳米机电系统集成实现光力晶体腔的调谐与稳定

摘要： 纳米梁光力晶体（其局域GHz频率的机械模与波长量级的光学模耦合）正被应用于不同材料平台的多类实验中。本研究通过将氮化硅槽模光力晶体腔与纳米机电系统元件集成，实现了此类器件的静电调谐与稳定控制——该元件可调控光力腔近场范围内额外"调谐"梁的位移。直流工作状态下，观测到光学腔波长可在数个光学线宽范围内调谐，同时光学品质因数（Q≈10?）几乎无衰减。通过测量调谐机制的交流响应，发现执行器共振频率处于10-20MHz范围，与仿真预测相符。研究展示了光学模式共振频率的反馈控制，并提出了替代性执行器构型。