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[IEEE 2018精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日至13日）] 2018精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 国家计量院可计算电容器中锁定法布里-珀罗干涉仪的衍射修正
摘要： 本文描述了可计算电容器中位移测量的衍射修正方法?；诟咚构馐ソ⒘怂ǜ缮嬉堑氖Ｐ?，对目标两腔体间的相位差进行了数值分析。仿真结果表明：通过在距输出镜560毫米处主动检测激光，可获得位移修正的最小值。
关键词： 法布里-珀罗干涉仪，位移测量，可计算电容器，衍射修正
更新于2025-09-10 09:29:36