材料降解对表面介质阻挡放电电学和光学特性的影响

摘要： 本文中，在三种不同电介质（多层聚酰亚胺、石英和氧化铝）上非对称制备了丝网印刷电极。通以交流电后，在大气压下产生可持续的表面介质阻挡放电（SDBD）等离子体。等离子体处理过程中，观察到材料降解和放电图像的不同变化。分别通过光学发射光谱（OES）和利萨如图形分析研究了相应的电学和光学特性。研究发现，基于聚酰亚胺的SDBD器件表面同时发生电介质降解和电极侵蚀，而基于石英和氧化铝的器件仅出现电极侵蚀，这导致电学特性呈现不同变化。OES计算结果表明：随着放电老化时间增加，基于聚酰亚胺的SDBD器件电子温度升高，而基于石英和氧化铝的器件电子温度降低；但三种电介质的气体温度均随老化时间增加而上升。此外，相较于振动温度和气体温度，电子温度分布更适用于评估等离子体处理过程中放电均匀性的变化。