氧化硅表面费米能级钉扎的机械应力依赖性

摘要： 采用微拉曼光谱与微区X射线光电子能谱（XPS）联用技术，对静态偏转的p型硅悬臂梁进行表面映射分析，研究氧化硅(001)表面费米能级钉扎效应的机械应力依赖性。通过沿<110>晶向施加单轴压应力和拉应力，该观测结果与纳米线、纳米膜等具有大表体比应变硅纳米器件的电学特性相关。研究发现表面费米能级钉扎呈现偶应力特性，这可能与Pb0硅/氧化物界面缺陷的对称性有关。当应力达240 MPa时，压缩应力使钉扎能增加0.16 meV/MPa，而拉应力使其增加0.11 meV/MPa?；谔宀牧霞鄞伪涫?，可估算出压缩状态下表面能带弯曲降低0.09 meV/MPa，拉伸状态下降低0.13 meV/MPa。