采用薄OMO背电极的透明非晶硅薄膜组件激光图形化工艺与?？樯杓频挠呕?

摘要： 采用氧化物-金属-氧化物（OMO）电极作为背电极制备了透明氢化非晶硅薄膜太阳能组件，适用于建筑一体化光伏应用。该组件由外层铝掺杂氧化锌和内层银构成约110纳米厚的薄型OMO电极，方阻为6.8 Ω/□，在400-800纳米可见光范围内平均透射率约88%。通过时域有限差分法研究了吸收层厚度对电池外量子效率和平均透射率的影响，发现电池光学损耗主要源于前电极在紫外区的吸收以及OMO在红外区的自由载流子吸收。针对采用薄OMO电极的透明组件，介绍了532纳米短脉冲高功率激光划片工艺的实施要点。通过观察划刻边缘形貌并测量分流电阻，展示了P2和P3激光工艺的功率优化方案。此外基于PSpice等效电路模型对电池宽度进行了优化。在500-800纳米波段范围内，组件最高转换效率与平均透光率分别达到5.6%和15.2%，单电池短路电流密度、填充因子和开路电压分别为10.8 mA/cm2、62.7%和0.830 V。